84141010 |
Bombes de buit per ser utilitzats, exclusivament o principalmente, per a la fabricació de semiconductors o de pantalles planes |
84141020 |
Bombes de buit per ser utilitzades, secundàriament, en la producció de semiconductors |
84141025 |
Bombes de buit, de pistó rotatiu, de paletes, moleculars i bombes Roots, excepte les utilitzades a la producció de semiconductors |
84141081 |
Bombes de buit, de difusió, criostàtiques i d'absorció, excepte les utilitzades a la producció de semiconductors, les de pistó rotatiu, de paletes, moleculars i bombes Roots |
84141089 |
Bombes de buit, excepte per ser utilitzades a la producció de semiconductors, de pistó rotatiu, de paletes, moleculars i bombes Roots i les de difusió, criostàtiques i d'absorció |