| 84863010 |
Aparells per a la deposició química de vapor en substrats per a dispositius de cristalls líquids |
| 84863030 |
Aparells per atacar en sec models en substrats per a dispositius de cristalls líquids |
| 84863050 |
Aparells per a la deposició física per polvorització en substrats de visualitzadors de cristalls líquids |
| 84863090 |
Màquines i aparells per a la fabricació de dispositius de visualització ("display") de pantalla plana, excepte aparells per a la deposició química de vapor en substrats per a dispositius de cristalls líquids, aparells per atacar en sec models en substrats per a dispositius de cristalls líquids i aparells per a la deposició física per polvorització en substrats de visualitzadors de cristalls líquids |