| 84569910 |
Fresadores de feixos iònics focalitzats per a la producció o reparació de màscares i reticles utilitzats com a models als discos semiconductors |
| 84569930 |
Aparells per atacar en sec, despullar o netejar els discos semiconductors |
| 84569950 |
Aparells per atacar en sec models en substrats per a dispositius de cristalls líquids |
| 84569980 |
Màquines eina que treballin per arrencada de qualsevol matèria mitjançant processos electroquímics, feixos d'electrons, feixos iònics o per raig de plasma, excepte de les subpartides 84569910, 84569930 i 84569950 |